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陶瓷院乐成召开“集成电路要害装备用高细密碳化硅陶瓷部件制造手艺”科技效果判断会
泉源：科技治理部 宣布时间：2015-02-031月21日，，，， ，，，中国修建质料团结会在北京主持召开了总院陶瓷院承研的“集成电路要害装备用高细密碳化硅陶瓷部件制造手艺”科技效果判断会 。。。。。6686体育 - 流通首播全球篮球足球热门赛事团结会科技事情部主任潘东晖、主任助理魏从九、总院副院长颜碧兰、陶瓷院院长胡利明，，，， ，，，副院长唐婕、重点实验室首席科学家陈玉峰教授出席聚会 。。。。。来自我国着名院校及科研院所的9名专家组成判断委员会，，，， ，，，航天质料及工艺研究所周延春研究员担当判断委员会主任委员、中科院电子研究所高陇桥研究员、清华大学朱煜教授担当副主任委员 。。。。。魏从九主持了本次聚会 。。。。。
会上陶瓷院唐婕、刘海林主任划分汇报了项目的研究历程及主要手艺效果 。。。。。该项目起源于国家科技重大专项“极大规模集成电路制造与成套工艺专项”（02专项），，，， ，，，其中清华大学等单位肩负焦点制造装备光刻机部分研制使命 。。。。。2011年在面临工件台系统碳化硅陶瓷结构部件国产化制造难题无法解决的情形下，，，， ，，，清华大学等单位委托陶瓷院举行重大结构碳化硅陶瓷部件的研发与制造 。。。。。研制历程中项目组针对集成电路要害装备对大尺寸、高度轻量化、中空闭孔、细密尺寸控制的碳化硅陶瓷需求，，，， ，，，突破了质料设计、近净尺寸成型、重大部件的高温烧结与毗连、细密加工等要害手艺，，，， ，，，首次研制乐成集成电路装备用高细密碳化硅基陶瓷要害部件及成套手艺 。。。。。同时形成了碳/碳化硅系统的凝胶注模成型、一种适用于含碳陶瓷质料重大部件制备的无模成型、一种碳化硅中空重大构件的无缝毗连，，，， ，，，以及陶瓷部件低应力、微形变制造等一批具有自主知识产权的专利手艺及专有手艺 。。。。。
与会专家认真听取了项目组汇报，，，， ，，，并对研制基地举行现场考察 。。。。。经由质询、讨论，，，， ，，，判断委员会委员一致以为“集成电路要害装备用高细密碳化硅陶瓷部件制造手艺”填补了海内空缺，，，， ，，，效果整体抵达国际先进水平 。。。。。项目顺遂通过科技效果判断 。。。。。
现在，，，， ，，，该项效果已乐成应用于国家科技重大专项 “极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项”（02专项）的65nm光刻机研制，，，， ，，，在我国自主研制的双工件台系统中获得装配，，，， ，，，现在正在举行整机审核 。。。。。该效果的研制乐成，，，， ，，，关于解决光刻机这一国家战略高科技装备的焦点部件研制难题，，，， ，，，构建光刻机国产化制造完整手艺链条具有主要意义 。。。。。为我国集成电路制造要害装备用高细密陶瓷部件的国产化生长提供了主要支持 。。。。。该效果社会、经济效益显著，，，， ，，，市场远景辽阔 。。。。。
